産業技術総合研究所( - 経済@ふたば保管庫

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産総研、フレキシブル基板上への超微細回路作成の新手法を開発

産業技術総合研究所(産総研)が、超微細回路を
印刷する新技術を開発したと発表した(Nature掲載論文)。
線幅は0.8マイクロメートルのものが得られており、
これはスクリーン印刷やインクジェット印刷より
数十倍高細度としている。また作成時に真空環境が不要で、
高温処理しなくてもよいことなども利点のようだ。
http://www.nature.com/ncomms/2016/160419/ncomms11402/full/ncomms11402.html

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簡単にこの手法の概略を説明すると、
まずフッ素系ポリマーの薄層にフォトマスクを通して紫外線を照射することで、表面に化学的反応性の高いパターンが形成される。そこに銀ナノインクで濡らした板で掃引するとパターン部分にだけ銀ナノインクが吸着する。

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銀ナノインクは銀ナノ粒子は
表面がアルキルアミンで覆われているが、乾燥することで粒子同士が凝集、融着する。これにより銀配線が形成して十分高い導電性を示すようである。

ネイチャーに載ったか
ノーベル賞候補の新技術だね